Установка V-700-О для нанесения оптических покрытий

Интересует вакуумная установка для нанесения оптических покрытий

Направляю предложения по изготовлению и поставке вакуумной установки V-700-О для нанесения оптических покрытий.

1. Назначение вакуумной установки

Вакуумная установка модели V-700-О предназначена в основном для нанесения многослойных отрезающих и полосовых оптических фильтров в диапазоне от 3,5 мкм до 12 мкм. Установка работает в автоматическом режиме и также может использоваться для нанесения и других оптических покрытий (просветляющих, интерференционных и др.).

2. Состав вакуумной установки

Вакуумная установка предусматривает применение импортных комплектующих: контроллер откачки, контроллер технологического процесса, контроллер температуры, вакуумметр, блок напуска газа, система кварцевого контроля, спектральная система контроля покрытий, в основном фирм «Simens», «Бальцерс» и т.п.

Механическая часть.

Форвакуумный агрегат НВР25Д/НД150.
Высоковакуумный насос Н400/7000.
Высоковакуумный затвор пневматического действия.
Высоковакуумная ловушка. (Фреоновая или азотная по согласованию с Заказчиком).
Камера вакуумная D-700мм, H-780 мм.
Трубчатые внутрикамерные нагреватели.
Технологическая оснастка со сменным куполом.
Технологическая оснастка планетарного действия.
Резистивные испарители с дозатором напыляемого вещества - 4 шт.
Испаритель электронно-лучевой.
Ионизатор.
Система гидравлическая.
Система пневматическая.

Стойка управления с входящими блоками.

Контроллер откачки «Siemens».
Контроллер технологического процесса «Siemens».
Контроллер температуры.
Вакуумметр «Бальцерс».
Блок напуска газа.
Привод технологической оснастки.
Стойка питания испарителя.
Спектральная система контроля покрытий.
Система кварцевого контроля.

3. Описание и взаимодействие основных частей установки

Вакуумная система установки включает в себя форвакуумный агрегат с пластинчато-роторным и двухроторным насосом, высоковакуумный насос, азотную или фреоновую высоковакуумную ловушку, высоковакуумный затвор и клапаны пневматического действия. Производительность форвакуумного агрегата - 150 л/с, предельное давление 1х10^-3 мм рт.ст. Производительность высоковакуумного насоса - 7000 л/с, предельное давление - 5х10^-7 мм рт.ст. при работе с азотной ловушкой.

В вакуумной камере размещаются:

датчики контроля давлений и температуры,
датчики спектрометрической системы и кварцевого контроля,
технологическая оснастка,
резистивные испарители,
электронно-лучевой испаритель,
ионизатор,
дозатор напыляемого вещества,
нагреватели,
механизм перевода контрольных образцов с 8-ю сменными свидетелями.

Технологическая оснастка планетарного вращения с 3-мя вращающимися дисками диаметром 300 мм, на которых размещаются оптические детали.

Установка включает в себя две стойки управления и питания. Одна стойка обеспечивает управление установкой, вторая - питание и управление электронно-лучевым испарителем.

Процесс нанесения покрытий происходит в автоматическом режиме, с выводом спектральной характеристики на монитор компьютера. Монитор компьютера располагается на столике оператора.

Спектрометрическая система имеет два режима работы: для видимой области (350-850) нм и для ИК-области (1000-2500) нм, разрешение в видимой области не хуже 1,5 нм, в ИК-области (3-5) нм.

Контроль толщины покрытий проводится по образцам свидетелям, расположенным в механизме перевода. Количество образцов не менее - 8 шт.

Дозатор управляет автоматической подачей испаряемых материалов, тем самым обеспечивает стехиометрический состав оптических покрытий.

Нагреватели обеспечивают нагрев изделий до температуры - 3200ºС.

Время одного цикла для нанесения фильтров в зависимости от технологического процесса составляет 8 часов.

Блок питания ЭЛИ (стойка питания и управления) состоит из трех блоков:

силового,
блока накала,
блока технологического, который изготовлен на современной базе и решает функции в автоматическом режиме.

Блок питания ЭЛИ обеспечивает в автоматическом режиме следующие функции:

нанесение необходимой толщины покрытий с учетом выбранного материала и установленной скорости испарения,
регулирование тока накала,
выход на рабочий режим,
стабилизацию ускоряющего напряжения,
стабилизацию скорости нанесения покрытий,
вращение тиглей с определением каждой позиции,
остановка процесса нанесения покрытий.

Для отображения информации применен логический контроллер, который задает необходимые параметры, управляет режимами работы.

Дополнительно предусмотрен блок с системой автоматического сканирования электронного луча SWEEP. Система SWEEP позволяет сканирование луча по заданной программе и траектории, тем самым обеспечивает равномерную выработку испаряемого материала.

Кварцевый контроль. Система кварцевого контроля включает в себя измерительною головку фирмы «MAXTEX» (США) и блок питания информации. Измерительная головка водоохлаждаемая, количество позиций - согласуется с Заказчиком.

С уважением, специалисты компании «Технологии и Предложения».