Для традиционных средств откачки вакуумная система включает: форвакуумный агрегат с пластинчато-роторным и двухроторным насосом, высоковакуумный насос, азотную или фреоновую высоковакуумную ловушку, высоковакуумный затвор и клапаны пневматического действия.

В вакуумной камере размещаются: датчики контроля давлений, температуры, датчики спектрометрической системы, кварцевого контроля, технологическая оснастка, резистивные испарители, электронно-лучевой испаритель, ионизатор, дозатор напыляемого вещества, нагреватели, механизм перевода контрольных образцов с 8-ю сменными свидетелями. Технологическая оснастка планетарного вращения с 3-мя вращающимися дисками диаметром 300 мм, на которых размещаются оптические детали. Установка включает в себя две стойки управления и питания. Одна стойка обеспечивает управление установкой, вторая - питание и управление электронно-лучевым испарителем.

Вакуумная установка обеспечивает проведение технологического процесса в автоматическом режиме, с выводом всех характеристик на монитор компьютера.

• Компьютер с программным обеспечением реального времени.
• Контроллеры фирмы Advantech или Siemens для управления установкой и контролем технологических процессов.

• Полностью автоматическая работа по рецептам пользователя.
• Полностью автоматическое, так и ручное управление циклом напыления посредством графического интерфейса пользователя.
• Модульная структура редактирования рецептов.
• Запись протоколов процесса, событий и ошибок.
• Визуализация данных в процессе напыления в виде: графиков роста пленки (скорости и толщины), параметров давления и температуры, скорости подачи газов и др.
• Доступ ко всем контроллерам и логическим функциям (сервис режим).
• Система помощи online.
• Система удаленного доступа для диагностики установки и ошибок.

Спектрометрическая система имеет два режима работы: для видимой области (350-850 нм) и для ИК-области (1000-2500 нм), разрешение в видимой области не хуже 1.5 нм, в ИК-области - 3-5 нм. Контроль толщины покрытий проводится по образцам свидетелям, расположенным в механизме перевода. Количество образцов: не менее 8 шт.

Дозатор управляет автоматической подачей испаряемых материалов, тем самым обеспечивает стехиометрический состав оптических покрытий. Нагреватели обеспечивают нагрев изделий до температуры 320⁰С. Время одного цикла для нанесения фильтров в зависимости от технологического процесса составляет 8 часов.

Выход годных изделий достигает до 80%, при этом 20% остальных изделий отличаются только по длине волны на 5-10%, что является высоким результатом.

Предложение включает в себя изготовление установки, передачу технологии нанесения покрытий, пуско-наладочные работы, обучение персонала.

Изготовитель обеспечивает запасными частями из расчета 12 месяцев работы установки. В перечне ЗИП указываются быстро изнашивающиеся детали и необходимые комплектующие.

Срок изготовления установки для нанесения оптических покрытий 6-7 месяцев.

Возможен вариант заключения договора по дальнейшему сервисному обслуживанию установки.

Компания «Технологии и Предложения» занимается внедрением технологий по нанесению защитных, токопроводящих, интерференционных, отражающих, просветляющих, энергосберегающих и других оптических покрытий.