Блок питания ЭЛИ работает в автоматическом режиме и обеспечивает выполнение следующих функций:
- Нанесение необходимой толщины покрытий с учетом выбранного материала и установленной скорости испарения.
- Стабилизацию скорости нанесения покрытий.
- Максимальную мощность ЭЛИ: 6 кВт.
- Фокусировку пятна ЭЛИ на испаряемом материале: не более 5x8 мм.
- Вращение тиглей с определением каждой позиции.
- Максимальное ускоряющее напряжение ЭЛИ: 12 кВ.
- Ступени ускоряющего напряжения ЭЛИ: 6, 10, 12 кВ.
- Ток электронного пучка: 0-1,0 А.
- Управление заслонками ЭЛИ.
- Остановку процесса нанесения покрытий.
- Защиту от перегрузок и короткого замыкания.
Для отображения информации применяется логический контроллер, который задает необходимые параметры, управляет режимами работы.
Применяется блок с системой автоматического сканирования электронного луча SWEEP, который позволяет осуществлять сканирование луча по заданной программе и траектории, тем самым обеспечивает равномерную выработку испаряемого материала.
Информация о работе электронно-лучевого испарителя отображается на дисплее персонального компьютера.