Нанесение оптических декоративных покрытий на крупногабаритные изделия

Необходима вакуумная установка для нанесения оптических, декоративных покрытий на крупногабаритные изделия.

Вакуумная установка V-1,5-«О»-IP предназначена для нанесения оптических покрытий с применением магнетронных и ионных источников на крупногабаритные изделия.

Установка может также использоваться для нанесения декоративных покрытий на детали различного назначения.

Состав вакуумной установки

Вакуумная установка состоит из следующих основных узлов:

Форвакуумная система откачки, 2 шт.
Высоковакуумная система откачки, 4 шт.
Вакуумная камера: диаметром 2000 мм , длина 2600 мм.
Магнетронный источник, 3 шт.
Ионный источник, 1 шт.
Технологическая оснастка, 1 шт.
Стойка управления, 1 шт.
Стойка питания, 3 шт.
Прибор спектрального управления и контроля технологическим газом, 1 шт.
Спектрометрическая система контроля толщины оптических покрытий, 1 шт.
Нагреватели, 6 шт.

Основные технические характеристики

Время достижения давления в рабочей камере: 2х10^-3Па – 30 мин.
Мощность блоков питания магнетрона: 10-25 кВт.
Размер мишени магнетрона:
Длина: 1960 мм.
Ширина: 85 мм.
Размер ионного пучка на срезе анода:
Длина: 2000 мм.
Ширина: 100 мм.
Ускоряющее напряжение ионного источника: 0-2500 В.
Рабочий диапазон давлений ионного источника: 10^-1 – 10^-2 Па.
Ионный ток источника: 0-0,6 А.
Режим сопутствующий ионной обработке ионным источником обеспечивается.
Система анализа плазмы – многоканальная.
Система контроля толщины покрытий может работать как на отражение, так и на пропускание с выводом спектральной характеристики на монитор компьютера.
Диапазон контроля толщины покрытий: 300-900 нм.
Размещение технологических источников – внутрикамерное.

Технологическая возможность установки

Нанесение покрытий на внутренние и наружные поверхности изделий.
Нанесение покрытий на стекло, керамику, оптику, металлическую и другие подложки.
Формируемые покрытия: окислы AL₂O₃, TiO₂, (Si/Al)2O3, (In/Sn)₂O₃, Zr₂O₃, металлы (Ti, Al, Zr и т.д.), нитриды (TiN, AlN, ZrN), карбиды (TiC, ZrC), карбонитриды и т.п.

С уважением, специалисты компании «Технологии и Предложения».