В основу создания вакуумного оборудования для реализации технологий вакуумного напыления упрочняющих покрытий, начиная с 1980 г., заложен цикл работ исследования поверхности при взаимодействии ионных потоков с поверхностью подложки, отработки конструкций технологических источников, блоков питания и управления, и других элементов вакуумных систем. В процессе данных работ исследованы физико-механические и химические свойства покрытий в зависимости от параметров технологического процесса, в частности:
- влияние ионной обработки, как ионами материала катода, так и ионами газа;
- температурные процессы, происходящие при формировании структур;
- структурно-фазовые превращения при получении покрытий.
В результате чего, были разработаны вакуумные технологии нанесения упрочняющих покрытий на различную подложку и создан ряд вакуумных установок.
Внедрение технологий по нанесению упрочняющих покрытий на обрабатывающий инструмент, оснастку, пресс-формы, штампы и т.п. позволяет в несколько раз увеличить ресурс изделий. Применение комбинированных технологических источников позволяет наносить однослойные, многослойные и алмазоподобные вакуумные покрытия, в том числе и на изделия в низком диапазоне температур.