Вакуумные дуговые испарители нашли эффективное применение в основном при нанесении упрочняющих покрытий.

Характерным недостатком для испарителей с коаксиальной формой катода является наличие капельной фазы и ограниченная по размерам эффективная рабочая зона осаждения. Это не позволяет наносить покрытия на крупногабаритные изделия и использовать их для коррозионностойких и декоративных покрытий. Напротив, секционные планарные плазменные дуговые источники с прямоугольной формой катода не только обеспечивают вакуумное нанесение покрытий на большие площади, но и по сравнению с коаксиальными практически исключают капельную фазу. Длина эффективной рабочей зоны осаждения таких испарителей составляет 0,9 высоты (длины) боковой поверхности вакуумной камеры.