Прежде всего, мы благодарны за доверие и предложение по сотрудничеству.

Вакуумные насосы

А сейчас по возникшим вопросам:

1. Вам необходимо решить, какая система откачки нужна: масляная или безмасляная. Если безмасляная, то следует применить турбомолекулярные и сухие предварительные вакуумные насосы. Если технологический процесс позволяет применение диффузионных насосов, то можно применить те насосы, которые мы Вам предложили. Из 35-летней практики применения диффузионных насосов следует, что диффузионные высоковакуумные насосы Казанского завода не плохого качества, по причине своей простой конструкции, а форвакуумные агрегаты (пластинчато-роторные, двухроторные насосы) следует применять с осторожностью.
   Указанный вакуумный насос достигает нужной глубины вакуума. Дело в том, что нами указана быстрота действия насоса при давлении 10^-4 мм рт.ст., а предельное давление насоса ниже, более чем на 2 порядка и составляет  5х10^-7–10^-6 мм рт. ст. Рабочую характеристику насоса мы Вам направим. Если бы Вы нам указали поток газовыделения в рабочей камере при Т = 1140ºС, то можно было точнее выбрать быстроту действия насоса. Полагаю, что диффузионные вакуумные насосы с ДУ-400 мм и предложенные форвакуумные насосы будут достаточными.
2. Нужно ли охлаждать днище вакуумной камеры?
3. Нужны ли трубчатые нагреватели в камере для обезгаживания?
4. Система гидравлическая? Для наших задач нам будут необходимы следующие цепи:
1. Охлаждение камеры и двери.
2. Охлаждение днища и крыши камеры.
3. Охлаждение диффузионного насоса.
4. Охлаждение пластинчато-роторного насоса.
   Сколько еще линий охлаждения необходимо? Какова будет стыковка Вашей конструкции с нашей гидравликой? Сколько цепочек дополнительных нужно предусмотреть?
5. Днище, крыша вакуумной камеры будут изготовлены из листа толщиной 35 мм. После механической обработки толщина будет порядка 32 мм.
6. Смотровые стекла. Мы применяем 2-3 шт. на общем фланце. Среднее стекло - 12-16 мм толщины, наружное и внутреннее - 3-5 мм толщиной. Уплотнение через резиновую прокладку по стеклу 12-16 мм. Диаметр стекла - 120-180 мм, как укажет Заказчик.
7. Шероховатость внутренних деталей в камере, в том числе и стенок вакуумной камеры примерно Ra = 1.25-2.5.
8. Стойки питания и управления откачным постом выполнены с применением контроллеров фирмы Сименс. Для наглядности мы направим Вам общий вид откачного поста, только сначала необходимо согласовать с Вами диффузионный вакуумный насос, так как от него зависит компоновка.

Откачной пост

Направляем Вам предложение по откачному посту.

Состав оаркас со щитами.

• Система гидравлическая.
• Камера вакуумная: 500х500 мм, размеры уточняются с Заказчиком.
• Затвор: ДУ 250 мм электромеханический.
• Переходник угловой: ДУ 250 мм.
• Диффузборудования: Кионный ДУ 250 мм HSR PDI-250 с ловушкой.
• Система форвакуумная с входящими клапанами (2 шт.) и клапанам аварийным (1 шт.).
• Агрегат форвакуумный с входящими с пластинчато-роторным и двухроторным насосом Эдвардс Е2М40, ЕН250.
• Вакуумметр Мерадат-ВИТ19ИТ1 с комплектом датчиков (с поверкой). Можем предложить датчики фирмы Эдвардс.
• Стойка управления с входящими блоками: управление системой откачки и гидравлической системой. В стойке применены контроллеры фирмы Сименс.