- Количество камер: 3-7 шт.
- Размеры подложек:
- длина до 4000 мм;
- ширина до 3000 мм.
- Количество магнетронов: 2-7 шт.
- Количество ионных источников: 1-3 шт.
- Время цикла: от 60 сек.
- Мощность блока питания магнетрона: 10-70 кВт.
Условные обозначения:
1 - Нагреватель.
2, 3, 5, 7, 9 - Камера.
4 - Источник ионов.
6, 8 - Магнетроны.
10 - Изделие.
11, 12 - Стойки питания.
13 - Стойка контроля.
14 - Форвакуумная система.
15 - Высоковакуумная система.
16 - Стойка управления.
17 - Затвор.
I, II, III, IV, V - Камеры.