Вакуумные линии

Вакуумная линия предназначена для нанесения широкого спектра покрытий (защитно-декоративных, упрочняющих, оптических) комбинированными методами в автоматическом режиме.

Оставить заявку

Состав вакуумной линии

Модуль загрузки (подготовки) изделия к напылению. Модуль предназначен для предварительной очистки и обезгаживания изделия.
Рабочая камера. В рабочей камере происходит окончательная очистка, обработка изделия планарным ионным источником и нанесение требуемых покрытий планарными магнетронами по заданной технологии. В рабочей камере размещено устройство для перемещения изделия, магнетроны планарной конструкции, нагревательные элементы, датчики контроля давления, спектра плазмы, спектрометрической системы.
Вакуумная система состоит из высокопроизводительных высоковакуумных насосов и агрегатов предварительной откачки. Вакуумная система обеспечивает достижение необходимого давления в модулях загрузки (подготовки), выгрузки изделия и непосредственно в рабочей камере.
Модуль выгрузки или (выхода изделия) предназначен для стабилизации давления и температурных параметров.
Ионный источник обеспечивает очистку, активацию поверхности изделия ионами аргона.
Магнетроны планарной конструкции.
Устройство перемещения обеспечивает автоматическое движение изделия с позиции загрузки на позицию выгрузки.
Прибор анализа плазмы и управления расходом технологического газа обеспечивает стабилизацию технологических параметров и воспроизводимость процесса получения покрытий.
Спектрометрическая система контроля толщины покрытий обеспечивает контроль покрытий в автоматическом режиме с выводом характеристики на монитор компьютера.
Стойка питания предназначена для питания магнетронных и ионных источников и других исполнительных механизмов.
Стойка управления обеспечивает автоматическое проведение технологического процесса нанесения покрытий. В стойку управления входят контроллеры откачки, температуры, прибора анализа плазмы, спектровизор, прибор замера остаточных давлений и т.д.

К особенностям вакуумной технологической линии следует отнести

Наличие модуля предварительной подготовки ионного источника позволяет формировать покрытия с высокими физико-механическими свойствами.

Исключение периодической загрузки изделий в рабочую камеру существенно уменьшает наличие примесей и формирование однородных покрытий, а также существенно увеличивает производительность установки.

Возможность контроля толщины покрытий в режиме осаждения и вывод спектральной характеристики на монитор компьютера.

Технические характеристики вакуумных технологических линий

Количество камер: 3-7 шт.
Размеры подложек:
- длина до 4000 мм;
- ширина до 3000 мм.
Количество магнетронов: 2-7 шт.
Количество ионных источников: 1-3 шт.
Время цикла: от 60 сек.
Мощность блока питания магнетрона: 10-70 кВт.

Условные обозначения:
1 - Нагреватель.
2, 3, 5, 7, 9 - Камера.
4 - Источник ионов.
6, 8 - Магнетроны.
10 - Изделие.
11, 12 - Стойки питания.
13 - Стойка контроля.
14 - Форвакуумная система.
15 - Высоковакуумная система.
16 - Стойка управления.
17 - Затвор.
I, II, III, IV, V - Камеры.

Для правильного выбора вакуумной линии, просим Вас сообщить:

Габариты обрабатываемых изделий (желательно прислать нам чертеж, эскиз либо фотографии изделий).
Из какого материала изготовлены изделия?
Какой результат Вам необходимо получить от процесса вакуумного напыления: какой цвет, толщина пленки, твердость, характеристики вакуумного покрытия и т.д.?
Какое количество изделий необходимо напылять за одну смену, какое количество смен и их продолжительность?

Актуальные работы, видео процесса

Наши клиенты

Компания «Технологии и Предложения» известна по всему миру. Мы работаем с крупными предприятиями от России до Канады. Узнайте полную географию охвата рынка и присоединяйтесь к нам!