Вакуумная линия предназначена для нанесения широкого спектра покрытий (защитно-декоративных, упрочняющих, оптических) комбинированными методами в автоматическом режиме.
- Модуль загрузки (подготовки) изделия к напылению. Модуль предназначен для предварительной очистки и обезгаживания изделия.
- Рабочая камера. В рабочей камере происходит окончательная очистка, обработка изделия планарным ионным источником и нанесение требуемых покрытий планарными магнетронами по заданной технологии. В рабочей камере размещено устройство для перемещения изделия, магнетроны планарной конструкции, нагревательные элементы, датчики контроля давления, спектра плазмы, спектрометрической системы.
- Вакуумная система состоит из высокопроизводительных высоковакуумных насосов и агрегатов предварительной откачки. Вакуумная система обеспечивает достижение необходимого давления в модулях загрузки (подготовки), выгрузки изделия и непосредственно в рабочей камере.
- Модуль выгрузки или (выхода изделия) предназначен для стабилизации давления и температурных параметров.
- Ионный источник обеспечивает очистку, активацию поверхности изделия ионами аргона.
- Магнетроны планарной конструкции.
- Устройство перемещения обеспечивает автоматическое движение изделия с позиции загрузки на позицию выгрузки.
- Прибор анализа плазмы и управления расходом технологического газа обеспечивает стабилизацию технологических параметров и воспроизводимость процесса получения покрытий.
- Спектрометрическая система контроля толщины покрытий обеспечивает контроль покрытий в автоматическом режиме с выводом характеристики на монитор компьютера.
- Стойка питания предназначена для питания магнетронных и ионных источников и других исполнительных механизмов.
- Стойка управления обеспечивает автоматическое проведение технологического процесса нанесения покрытий. В стойку управления входят контроллеры откачки, температуры, прибора анализа плазмы, спектровизор, прибор замера остаточных давлений и т.д.
- Количество камер: 3-7 шт.
- Размеры подложек:
- длина до 4000 мм;
- ширина до 3000 мм. - Количество магнетронов: 2-7 шт.
- Количество ионных источников: 1-3 шт.
- Время цикла: от 60 сек.
- Мощность блока питания магнетрона: 10-70 кВт.
Условные обозначения:
1 - Нагреватель.
2, 3, 5, 7, 9 - Камера.
4 - Источник ионов.
6, 8 - Магнетроны.
10 - Изделие.
11, 12 - Стойки питания.
13 - Стойка контроля.
14 - Форвакуумная система.
15 - Высоковакуумная система.
16 - Стойка управления.
17 - Затвор.
I, II, III, IV, V - Камеры.
Для правильного выбора вакуумной линии, просим Вас сообщить:
- Габариты обрабатываемых изделий (желательно прислать нам чертеж, эскиз либо фотографии изделий).
- Из какого материала изготовлены изделия?
- Какой результат Вам необходимо получить от процесса вакуумного напыления: какой цвет, толщина пленки, твердость, характеристики вакуумного покрытия и т.д.?
- Какое количество изделий необходимо напылять за одну смену, какое количество смен и их продолжительность?
Наши клиенты
Компания «Технологии и Предложения» известна по всему миру. Мы работаем с крупными предприятиями от России до Канады. Узнайте полную географию охвата рынка и присоединяйтесь к нам!
Ваш партнер в области плазменной обработки поверхности