Магнетронный испаритель
Оптимизация конструкции магнетронных источников, применение сильноточного водоохлаждаемого соленоида расширяют, как технологические возможности, так и технические характеристики магнетронных распылительных систем.
Применение несбалансированных магнетронных испарителей по сравнению с традиционными, позволяет формировать вакуумные покрытия с большей производительностью и существенно расширить эффективную рабочую зону источников.