В современных технологиях нанесения покрытий (вакуумное напыление) вакуумными методами ионные источники являются необходимым технологическим инструментом. При этом они должны обеспечивать как ионную очистку поверхности, так и сопутствующую обработку и релаксацию возникающих напряжений в напыляемых покрытиях.
Сочетание модификации поверхности ионами низких и средних энергий с осаждением покрытий позволяют формировать вакуумные покрытия с высокими спектральными, физико-механическими и эксплутационными характеристиками.