Алмазоподобные (DLC) покрытия нашли свое широкое применение:
- в машиностроении для упрочнения режущего инструмента в 2-15 раз;
- для получения износостойких и антифрикционных слоев в высокоточных узлах трения;
- в качестве защитных и декоративных покрытий;
- в медицине для защитных, совместимых с живыми тканями покрытий протезов, сердечных клапанов, контактных линз;
- в оптике для фильтров, селективной оптики;
- и других отраслях.
Основные свойства покрытий: - высокая твердость 50-100 ГПА;
- низкий коэффициент трения;
- высокая износоустойчивость;
- экологическая чистота.
Алмазоподобные покрытия могут быть получены как PVD, так и CVD методами.
Предлагается технология и оборудование для получения алмазоподобных покрытий:
|